Die Quantitative EDX-Analyse  -  ein Beispielausdruck

Der EDX-Zusatz am REM kann für schnelle und bequeme quantitative Analysen genutzt werden. In manchen Fällen ist es nur eine von mehreren alternativen analytischen Methoden, in anderen Fällen ist es jedoch die einzige Methode um zu Ergebnissen zu kommen. Im folgenden Beispiel wurden granulierte Teile von Katalysatoren untersucht. Eine Fraktion magnetisch stark suszeptibler Flugaschepartikel wurde gesammelt und analysiert. Die Probe zeigt ziemlich hohe Fe2O3-Gehalte.


Spectrum file : KATA14
Katalysator, Probe A, Fraktion stark magnetisch suszeptibel, 5qmm      LIVETIME(spec.)=   200
 ENERGY    RES     AREA
-   2.1   69.44   140308
TOTAL AREA=   130865
...
FIT INDEX=  .59                       Das Programm paßt Standardspektren an das Probenspektrum an,
                                      berechnet dann die Qualität der Anpassung und eine erste Näherung
ELMT      APP.CONC   ERROR(WT%)       für die Konzentrationen, die anschließend verfeinert wird
MgK : 0     .139      .040
AlK : 0    1.067      .043
SiK : 0    1.624      .057
S K : 0    3.515      .081
K K : 0    1.642      .052
CaK : 0     .424      .041
TiK : 0    7.238      .097
V K : 0     .098      .060* < 2 SIGMA*      * Vanadium liegt unter der Nachweisgrenze
FeK : 0    4.709      .124
W M : 0     .825      .143
AuM : 0    2.767      .163Not used for quantitation      Die Linien links werden für die Quantifizierung
AuL : 0    4.478      .483Not used for quantitation      nicht direkt benötigt,
CuK : 0     .311      .103Not used for quantitation      da sie z.B. Sputter-Material repräsentieren
CuL : 0     .112      .183* < 2 SIGMA*NOT USED FOR QUANTITATION
W L : 0     .758      .253NOT USED FOR QUANTITATION

ZAF CALCULATIONS                            Die iterative Prozedur der Verfeinerung beginnt

..[ 2 iterations]

20.00 kV  TILT=20.00 ELEV=20.00 AZIM=45.00 COSINE=1.000  Die analytischen Bedingungen werden hier angegeben

Katalysator, Probe A, Fraktion stark magnetisch suszeptibel, 5qmm

Last elmt by STOICH.,NORMALISED             In diesem Fall wurde Sauerstoff aus der Stöchiometrie berechnet

ELMT      ZAF    %ELMT +-     Error ATOM.%          %OXIDE    FORMULA   Die endgültigen Ergebnisse:
MgK : 0  .579     .544 +-     .156    .554  MgO       .902      .100    Der berechnete Fehler steht für den
AlK : 0  .693    3.488 +-     .141   3.198  Al2O3    6.590      .580    stochastischen Prozeß der Erzeugung
SiK : 0  .775    4.746 +-     .167   4.180  SiO2    10.152      .757    von Röntgenquanten und für die
S K : 0  .857    9.286 +-     .215   7.166  SO3     23.189     1.299    Überlappung von Linien
K K : 0 1.017    3.660 +-     .115   2.316  K2O      4.409      .420
CaK : 0  .997     .964 +-     .094    .595  CaO      1.349      .108
TiK : 0  .869   18.881 +-     .254   9.751  TiO2    31.494     1.767
V K : 0  .866   < .120 +-     .060                                      Für Vanadium wurde die zugehörige
FeK : 0  .858   12.440 +-     .326   5.510  Fe2O3   17.785      .999    Nachweisgrenze berechnet
W M : 0  .642    2.913 +-     .505    .392  WO3      3.673      .071
O K : 0  .000   42.824              66.214                    12.000
TOTAL           99.745             100.000          99.545     6.100


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